扫描电子显微镜检FAG轴承

当FAG轴承检查失效时，除了目测外还用立体显微镜来检查每个失效原因。因而和FAG轴承失效有关的细节有时间很少。

由于可见光的波长相对较长，限制了可见光发射的图像。通常破坏的FAG滚动轴承滚到表面不光滑，照片只能被放大到50倍。在用可见光检测FAG轴承表面有困难时可以用以非常短的垫子光束工作的扫描电镜（SEM）检测。他能将检测到的细节放大几千倍。

因此对FAG轴承磨损、电流通过、断裂区域、外界微粒凹坑和材料夹杂物等造成的FAG轴承滚到损坏，垫子扫描显微镜是进行FAG轴承滚道外观检查的一种重要手段。